renishaw激光干涉儀可用于數(shù)控機床、大規(guī)模集成電路加工設備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的特點是在具有強大的排除干擾能力的情況下還具有非常高的精度，其分辨率可以達到納米級，從而可以大大提高制造領(lǐng)域的制造精度。

　　

　　與傳統(tǒng)的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時處理數(shù)據(jù)，為數(shù)控機床誤差修正提供依據(jù)。激光干涉儀與不同光學附件結(jié)合，可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機床誤差來源：而且測量時可以在工作部件運動過程中自動采集數(shù)據(jù)，更接近機床的實際使用狀態(tài)。

　　

　　位置精度是機床的重要指標，目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。因此，用激光干涉儀檢測機床各項誤差是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術(shù)。

　　

　　renishaw激光干涉儀在數(shù)控機床的應用

　　

　　一、直線度測量

　　

　　1、沿水平軸直線度測量，激光器發(fā)射出的光束穿過中間的直線度干涉鏡，分為兩束同頻的光源，通過直線度反射鏡反射匯聚到干涉鏡，再返回激光器。此種測量方法，可以檢測出干涉的光波在直線度干涉鏡移動的方向上產(chǎn)生多少偏差，可以用來調(diào)試設備。

　　

　　2、沿垂直軸直線度測量，將激光干涉儀水平光束轉(zhuǎn)換成垂直光束。

　　

　　二、線性測量

　　

　　renishaw激光干涉儀是高精度的線性位移測量儀器，其光波可以直接對米進行定義，可以定位精度、重復定位精度、反向間隙等多項檢測機床軸的精度指標，需要用到一個各線性分光鏡和兩個線性反射鏡。

　　

　　新機床大多使用激光干涉儀進行定位精度和重復定位精度以及反向間隙的檢測，機床使用一段時間后，由于絲杠的磨損和其它原因，精度會逐漸喪失，也需要使用renishaw激光干涉儀進行精度的再校準。